事例08 クリーン搬送装置

フォト・マイクロセンサ（フォトインタラプタ）のアプリケーション事例

フォト・マイクロセンサ（フォトインタラプタ）の代表的なアプリケーション事例は以下のとおりです。機器・装置が異なる場合でも、課題解決に活用できる場合がありますので、ご参照ください。

事例08

クリーン搬送装置

メカ機構の位置決め

用途

  • ・ウエハカセットの開閉を制御するため、メか機構の原点検知や位置決めなどをします。

課題・要望

  • ・M3ネジ取付け、コネクタ付、24V駆動の小型の光センサがほしい。
  • ・小型だが、検出物体のガタつきを、ある程度許容できるセンサがほしい。

解決

  • ・採用形式
    ネジ取付けコネクタタイプ フォト・マイクロセンサ(フォトインタラプタラプタ)
    形EE-SX3173-P3-Z
  • ・本センサは、独自の光学素子で小型化を実現していますので、限られた取り付けスペースのメカ機構に有効です。また、標準部品であるM3ネジで取り付け可能です。
  • ・小型でありながら、5mmの溝幅で、検出物体の位置変動(ガタつき)をある程度許容できます。
  • ・電源電圧は、5Vタイプと24Vタイプをご用意しています。大型機器に最適な24Vタイプには、耐ノイズ用の保護回路(ツェナーダイオード)を内蔵しています。

推奨形式