MEMS応用
コンパクトで高機能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術
特長
高機能をコンパクトに集積
MEMSチップを起点として、専用ASIC、ソフトウェアアルゴリズムを小型・高集積化し、ワンパッケージに搭載
集積回路技術
MEMSセンサからの信号処理、ノイズ除去などをコンパクトに専用回路、専用ASICで実現
組込みソフトウェア技術
信号処理結果を意味づけ、判定する独自アルゴリズムを小型プログラム化
技術詳細
スマートサイジング
圧力センサモジュールでは、専用MEMSチップ、及び専用ASICなどのコア部品をコンパクトにパッケージングし高精度、高信頼性を実現しました。
独自アルゴリズム*
感震センサモジュールでは、MEMSセンサ、汎用マイコンにオムロン独自のソフトウェアアルゴリズム*を組み込み、震度5強相当で遮断出力。地震による2次災害の軽減に貢献します。
*計測震度と相関性の高いSI値演算アルゴリズムを採用しています。 2021年8月当社調べ
アプリケーション
ガスメータ内での事例
MEMS圧力センシング
ガスメータでの配管内圧力、製造装置での供給ガス圧力などのセンシング
MEMS地震感知
ガスメータでの地震検知、電源ブレーカーでの地震検知、製造装置などの地震検知
MEMS非接触温度センシング
エアコンの人体検知、住宅や商業施設での人体検知、冷蔵庫や電子レンジ内の物体検知
