形 D6F シリーズ MEMSフローセンサ（流量/風速）
温度・圧力に影響されない「質量流量計測」が可能な気体流量センサ
- 高精度：ASICにより直線性温度補正で±3%RD(25～100% F.S.)を実現
- 高感度: 独自のMEMS構造によりわずかな風速をセンシング
- 小型：世界最小クラスのMEMS素子で製品の小型化を実現
- 流量・風速の2種類をご用意しております。詳しくはデータシートをご覧ください。
D6F-20A5-000、D6F-30A7-000、D6F-PLG1：
2026年3月末受注終了予定品。
DOWNLOADダウンロード
本ページは製品カタログからの抜粋した情報を記載しています。その他の製品情報はデータシート他各種データをご覧ください。CADデータがある形式は「形式一覧」よりご確認いただけます。
カタログ
| データ種別 | ファイル名 | 更新日 |
|---|---|---|
| データシート | データシート D6F | |
| セレクションガイド | センサセレクションガイド |
操作マニュアル/ソフトウェア
| データ種別 | ファイル名 | 更新日 |
|---|---|---|
| ユーザーズマニュアル | MEMSフローセンサ D6Fシリーズ ユーザーズマニュアル | |
| ユーザーズマニュアル | MEMSフローセンサ 形D6F-P ユーザーズマニュアル | |
| ユーザーズマニュアル | MEMS風量センサ 形D6F-Ｗ/D6F-V ユーザーズマニュアル | |
| ユーザーズマニュアル | MEMS フローセンサ 形 D6F-A7D/-AB71D ユーザーズマニュアル | |
| ユーザーズマニュアル | MEMS差圧センサ 形D6F-PH ユーザーズマニュアル |
*ソフトウェアをダウンロードいただくには、本製品の使用許諾契約への同意が必要です。
MODEL LIST形式一覧
それぞれの形式に関する情報を掲載しております。CADデータはログイン/会員登録いただくとダウンロードすることができます。
| 形式 | SamacSys3D/ECAD*1 | Ultra Librarian3D/ECAD*2 | OMRON2D/3D CAD*3 | 購入 | Rohs証明書*4 | 生産状況 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| D6F-01A1-110 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-01N2-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-02A1-110 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-02L2-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-02L7-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-03A3-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-05N2-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | - | 生産終了 | ||
| D6F-05N7-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-10A5-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-10A6-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-10A61-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-10A7-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-10A7D-000-0 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-20A5-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産終了予定 | ||
| D6F-20A6-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-20A61-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-20A7D-000-0 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-30A7-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産終了予定 | ||
| D6F-30AB71-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 | ||
| D6F-50A5-000 | ログイン/会員登録 | ログイン/会員登録 | Download | 生産中 |
- *1外部サイト（SamacSys）が新しいウィンドウで開きます。
3D CADならびにECADデータは当社提供情報をもとにSamacSysが独自に制作したものであり、当社は3D CADならびにECADデータの正確性、最新性および完全性を保証いたしません。 - *2外部サイト（Ultra Librarian）が新しいウィンドウで開きます。
3D CADならびにECADデータは当社提供情報をもとにUltra Librarianが独自に制作したものであり、当社は3D CADならびにECADデータの正確性、最新性および完全性を保証いたしません。 - *32D,3D CADデータの仕様に関してはこちらをご覧ください。
- *4Rohs証明書は掲載されていない場合がございます。
掲載されていない商品については、弊社営業部門もしくは販売店へお問い合わせください。
